纳米级位置定位系统

摘要

本发明公开了一种纳米级位置定位系统。它具有恒温室,在恒温室内设有粗级定位装置和纳米级定位装置,粗级定位装置为滚珠丝杆,纳米级定位装置具有工作腔壳体,在工作腔内设有变形体,变形体两侧设有变形体支撑块,变形体支撑块两侧和变形体一端分别设有隔热板,在变形体上设有温度感知器,在变形体一端设有位移感知器,在变形体支撑块上设有两调温管道,在两调温管道一端设有调温器。本发明的优点是:1)变形体的热位移直接作为纳米位移驱动器,从而减少许多中间链路,提高定位精度;2)变形体取材容易,价格适中;3)采取二级定位,一级为粗定位,一级为纳米级定位;4)通过二级温度控制,实现对变形体热位移的控制,并达到稳定且较高的控制精度。

主权项

1.纳米级位置定位系统，其特征在于它具有恒温室[1]，在恒温室内设有粗级定位装置和纳米级定位装置，粗级定位装置为滚珠丝杆[7]，纳米级定位装置具有工作腔壳体[4]，在工作腔内设有变形体[10]，变形体两侧设有变形体支撑块，变形体支撑块两侧和变形体两端分别设有隔热板[13]、[6]、[2]，在变形体上设有温度感知器[5]，在变形体一端设有位移感知器[9]，在变形体支撑块上设有两调温管道[11]、[3]，在调温管道[11]一端设有调温器[12]，调温管道[3]一端设有调温器[8]。