| 发明名称 |
VORRICHTUNG ZUM BEHANDELN SCHEIBENFÖRMIGER GEGENSTÄNDE, INSBESONDERE SILICIUMWAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT216533(T) |
申请公布日期 |
2002.05.15 |
| 申请号 |
AT19960902801T |
申请日期 |
1996.02.28 |
| 申请人 |
SEZ SEMICONDUCTOR-EQUIPMENT ZUBEHOER FUER DIE HALBLEITERFERTIGUNG AG |
发明人 |
SUMNITSCH, FRANZ |
| 分类号 |
H01L21/683;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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