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发明名称 TRANSPORT SYSTEM WITH INTEGRATED TRANSPORT CARRIER AND DIRECTORS
摘要
申请公布号 EP1124745(A4) 申请公布日期 2002.05.15
申请号 EP20000950923 申请日期 2000.08.01
申请人 ASYST TECHNOLOGIES, INC. 发明人 BONORA, ANTHONY, C.;GOULD, RICHARD, H.
分类号 B65G43/08;B65G19/02;B65G35/06;B65G37/02;H01L21/677;(IPC1-7):B65G19/02;B65G49/04;B65G37/00 主分类号 B65G43/08
代理机构 代理人
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