| 发明名称 |
Method for cutting substrate |
| 摘要 |
A method for cutting a substrate by scribing a scribe line in the substrate, wherein a working condition of the scribe line is varied during the scribing of one line.
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| 申请公布号 |
US6386084(B1) |
申请公布日期 |
2002.05.14 |
| 申请号 |
US20000492331 |
申请日期 |
2000.01.27 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
KATO NAOKI |
| 分类号 |
B26D3/08;C03B33/023;C03B33/07;G02F1/1333;(IPC1-7):B26D3/08 |
主分类号 |
B26D3/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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