| 发明名称 |
Sputterkathode met magnetische shunt. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL1016597(C2) |
申请公布日期 |
2002.05.14 |
| 申请号 |
NL20001016597 |
申请日期 |
2000.11.13 |
| 申请人 |
OTB GROUP B.V. |
发明人 |
JEROEN FRANCISCUS MARIA LANDSBERGEN;JIRY VYSKOCIL |
| 分类号 |
H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34;C23C14/34 |
主分类号 |
H01J37/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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