摘要 |
<p>본 발명은 광을 이용한 거리측정장치 및 방법에 관한 것으로서, 광원(1)에서 나온 광을 비임스플리터(3)를 통과시켜 제1분리광과 제2분리광으로 나누고, 상기 제1분리광은 소정각도로 경사된 경사 반사경(7)에 반사되어 되돌아 옴과 동시에 상기 제2분리광은 이동 반사경(5)에 반사되어 되돌아 와서 서로 간섭되고, 이 간섭된 무늬가 수광부(9)에서 검출되어 상기 이동 반사경의 이동거리를 측정하는 것을 특징으로 하며, 분해능이 뛰어나고, 간단한 광학계로 되어 있으므로 제조비가 저렴하며 긴 거리도 정밀하게 측정이 가능하다.</p> |