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发明名称
摘要
申请公布号	JP3282164(B2)	申请公布日期	2002.05.13
申请号	JP19990371018	申请日期	1999.12.27
申请人		发明人
分类号	B05D1/40;B05D3/10;B05D7/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304	主分类号	B05D1/40
代理机构		代理人
主权项
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