| 主权项 |
1.一种动态矩阵式液晶显示器,系采用薄膜电晶体做为开关元件,该动态矩阵式液晶显示器包括:一汲极电极,系依序由一透明导电膜和一低阻抗金属膜所组成;一汲极滙流排线,连接至该汲极电极;一源极电极;一像素电极,连接至该源极电极,形成有复数孔洞,从该像素电极移除该低阻抗金属膜;一闸极电极,以岛状的形式形成于该等透明导电膜和低阻抗金属膜上;一闸滙流排线,连接至该闸电极;以及一半导体膜和一绝缘膜,与该闸滙流排线具有相同的形状;该闸滙流排线系以低阻抗金属形成,而连接至该闸电极。2.一种动态矩阵式液晶显示器的制造方法,包括下列步骤:(a)依序形成一透明导电膜和一低阻抗金属膜于一绝缘基底上;(b)形成一汲极电极、连接至该汲极电极之一汲极滙流排线、一源极电极、以及连接至该源极电极与呈复数孔洞之一像素电极;(c)以侧向蚀刻法从该像素电极移除该低阻抗金属膜;(d)于该基底上施以PH3电浆处理,然后依序形成一半导体膜、一绝缘膜、以及一低阻抗金属膜;(e)以定义图案的方式,形成一闸电极和连接至该闸电极之一闸滙流排线;以及(f)形成与该等闸电极和闸滙流排线具相同形状之一岛。3.一种动态矩阵式液晶显示器,系采用薄膜电晶体做为开关元件,该动态矩阵式液晶显示器包括:一闸电极,系以低阻抗金属膜建构而成;一闸滙流排线,连接至该闸电极;一绝缘膜、一半导体膜、以及一接触层,以一岛状形成于该低阻抗金属膜上,至少覆于该闸电极以及该闸滙流排线与一汲极滙流排线欲接越的部份;一透明导电膜和一低阻抗金属膜,依序形成连接至该汲极滙流排线之一汲极电极;以及一像素电极,连接至该源极电极,形成复数个孔洞,只从该像素电极中移除该低阻抗金属膜。4.一种动态矩阵式液晶显示器的制造方法,包括下列步骤:(a)形成一低阻抗金属膜于一绝缘基底上;(b)以定义图案的方式,形成一闸电极和连接至该闸电极之一闸滙流排线;(c)形成一绝缘膜、一半导体膜、以及一接触层于该基底上;(d)以定义图案的方式,形成一岛至少覆于该闸电极以及该闸滙流排线与一汲极滙流排线欲接越的部份;(e)依序形成一透明导电膜和一低阻抗金属膜于该基底上;(f)以定义图案的方式,形成连接至该汲极电极之该汲极滙流排线、一源极电极、以及连接至该源极电极与呈复数孔洞之一像素电极;(g)以侧向蚀刻法从该像素电极移除该低阻抗金属膜;以及(h)将该接触层从一通道部份移除。图式简单说明:第1A图系显示生产一习知动态矩阵式液晶显示器起始步骤的平面图示;第1B图系显示沿第1A图A-A'线所截之剖面图;第2A图系显示第1A图接续步骤的平面图;第2B图系显示沿第2A图A-A'线所截之剖面图;第3A、4A、5A图系显示根据本发明一实施例生产动态矩阵式液晶显示器步骤流程平面图示;第3B、4B、5B图系分别显示沿第3A、4A、5A图A-A'线所截之剖面图;第6A、7A、8A、9A图系显示根据本发明另一实施例生产动态矩阵式液晶显示器步骤流程平面图示;第6B、7B、8B、9B图系分别显示沿第6A、7A、8A、9A图A-A'线所截之剖面图;以及第10A-10C图系显示对第3A-5B图所示实施例特定改良的剖面图。 |
