| 主权项 |
1.一种叠层的方法,包括:提供复数层以供叠层;决定该等复数层的热膨涨系数(TCE);提供具有几乎相同的热膨涨系数(TCE)的一定位板;及堆叠该等复数层于该定位板之上。2.如专利申请范围第1项之方法,进一步其中该定位板包含工具针脚;该方法进一步包含在该等以供叠层中钻重合洞,该等重合洞的直径至少与该定位板的该等工具针脚一样大;及该堆叠该等复数层于该定位板之上的步骤,包含强迫该等工具针脚穿过该等复数层之每一层的重合洞。3.如专利申请范围第2项之方法,其中该等工具针脚包含一锥形顶尖,且该方法进一步包含的步骤为,在强迫该等工具针脚穿过该等复数层之每一层的重合洞之前,将每一层置于该等工具针脚之锥形顶尖上。4.如专利申请范围第3项之方法,其中该等重合洞的直径小于该等工具针脚的直径0-5微米。5.如专利申请范围第4项之方法,其中提供复数层的步骤包含提供复数层,该等复数层的每一层都具有一热膨涨系数(TCE),实质类似于该等复数层其他的每一层的热膨涨系数(TCE)。6.如专利申请范围第5项之方法,其中任两层间之热膨涨系数(TCE)最大的差异小于2 ppm。7.如专利申请范围第6项之方法,其中该定位板的热膨涨系数(TCE)与该等层的平均热膨涨系数(TCE)的差异小于2 ppm。图式简单说明:图1为本发明一具体实施例定位板之侧视图。图2为本发明一具体实施例定位板之平视图。图3为本发明一具体实施方法的示意图。 |
