| 主权项 |
1.一种薄膜支撑装置,特别是适用于化学机械研磨 装置中携带头之薄膜支撑装置,包含薄膜支撑基座 ,系为一盘状结构包含复数个具有第一直径之第一 穿孔形成于其中,其特征在于包含过滤装置,配置 于上述之薄膜支撑基座之表面,且至少覆盖通往真 空系统之路径,上述过滤装置系为一盘状结构包含 复数个具有第二直径之第二穿孔形成于其中,其中 上述之第二直径小于该第一直径。2.如申请专利 范围第1项之具有过滤装置之薄膜支撑装置,其特 征包含上述薄膜支撑基座之组成材质包含合金。3 .如申请专利范围第1项之具有过滤装置之薄膜支 撑装置,其特征包含上述薄膜支撑基座之组成材质 包含不锈钢。4.如申请专利范围第1项之具有过滤 装置之薄膜支撑装置,其特征包含上述薄膜支撑基 座之组成材质包含陶瓷材料。5.如申请专利范围 第1项之具有过滤装置之薄膜支撑装置,其特征包 含上述薄膜支撑基座之表面经过阳极处理。6.如 申请专利范围第1项之具有过滤装置之薄膜支撑装 置,其特征包含上述过滤装置之组成材质包含合金 。7.如申请专利范围第1项之具有过滤装置之薄膜 支撑装置,其特征包含上述过滤装置之组成材质包 含不锈钢。8.如申请专利范围第1项之具有过滤装 置之薄膜支撑装置,其特征包含上述过滤装置之组 成材质包含陶瓷材料。9.如申请专利范围第1项之 具有过滤装置之薄膜支撑装置,其特征包含上述过 滤装置之表面经过阳极处理。10.如申请专利范围 第1项之具有过滤装置之薄膜支撑装置,其特征包 含上述过滤装置之第二穿孔之第二直径为介于0.02 至0.08厘米。图式简单说明: 图一为本创作薄膜支撑装置正面之俯视图。 图二为本创作过滤装置之俯视图。 图三为本创作薄膜支撑装置背面俯视图以及截面 图。 |
