| 发明名称 |
Pintamikromekaaninen absoluuttipaineanturi ja menetelmä sen valmistamiseksi |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FI20002472(A) |
申请公布日期 |
2002.05.11 |
| 申请号 |
FI20000002472 |
申请日期 |
2000.11.10 |
| 申请人 |
VAISALA OYJ,;VALTION TEKNILLINEN TUTKIMUSKESKUS, |
发明人 |
BLOMBERG,MARTTI |
| 分类号 |
G01L9/12;B81B3/00;B81C1/00;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):B81B3/00;G01L7/00 |
主分类号 |
G01L9/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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