发明名称 BIPOLAR TRANSISTOR
摘要 Es wird ein Bipolartransistor (20) sowie ein Verfahren zu dessen Herstellung beschrieben. Um einen möglichst geringen Übergangswiderstand zwischen Zuleitung (50) und Basis (42) zu erhalten, ist erfindungsgemäss vorgesehen, dass zwischen der ersten (30) und zweiten (50) Schicht eine Zwischenschicht (70) vorgesehen ist, dass die Zwischenschicht (70) selektiv ätzbar zur zweiten Schicht (50) ausgebildet ist, dass wenigstens im Bereich der Unterätzung (43) zwischen Zuleitung (51) und Basis (42) ein Basisanschlussbereich (45) vorgesehen ist, der unabhängig von anderen Herstellungsbedingungen eingestellt werden kann, und dass die Zwischenschicht (70) im Kontaktbereich (46) mit der Basis (42) entfernt ist.
申请公布号 WO0159845(A3) 申请公布日期 2002.05.10
申请号 WO2001EP01324 申请日期 2001.02.07
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;FRANOSCH, MARTIN;SCHAEFER, HERBERT;MEISTER, THOMAS;STENGL, REINHARD 发明人 FRANOSCH, MARTIN;SCHAEFER, HERBERT;MEISTER, THOMAS;STENGL, REINHARD
分类号 H01L21/331;H01L29/732;(IPC1-7):H01L29/732 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
主权项
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