Verfahren zur Herstellung einer Schattenmaske und Vorrichtung zur Beschichtung mit Ätzresistentem Material,申请号DE1997611530-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Herstellung einer Schattenmaske und Vorrichtung zur Beschichtung mit Ätzresistentem Material
摘要
申请公布号	DE69711530(D1)	申请公布日期	2002.05.08
申请号	DE1997611530	申请日期	1997.09.29
申请人	KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI	发明人	NIKAIDO, MASARU;OHTAKE, YASUHISA;HIRAHARA, SACHIKO
分类号	B05C1/00;B05C1/08;B05C9/06;H01J9/14;(IPC1-7):H01J9/14;B05C3/18	主分类号	B05C1/00
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