SUBSTRATE AND WORKPIECE SUPPORT FOR RECEIVING A SUBSTRATE,申请号EP20000954347-传众专利搜索

发明名称	SUBSTRATE AND WORKPIECE SUPPORT FOR RECEIVING A SUBSTRATE
摘要
申请公布号	EP1203398(A1)	申请公布日期	2002.05.08
申请号	EP20000954347	申请日期	2000.07.19
申请人	ROBERT BOSCH GMBH	发明人	WEIBLEN, KURT;GOEBEL, HERBERT;WANKA, HARALD;KRETSCHMANN, ANDRE;HENN, RALF;WINGSCH, VOLKER;GLUECK, JOACHIM;SCHARPING, ARMIN
分类号	H01L21/683;C23C14/50;G01L9/00;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00	主分类号	H01L21/683
代理机构		代理人
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