发明名称 Verfahren zur herstellung von Silicium
摘要
申请公布号 DE59803595(D1) 申请公布日期 2002.05.08
申请号 DE19985003595 申请日期 1998.08.27
申请人 WACKER-CHEMIE GMBH 发明人 WOCHNER, DR.;BAUER, DR.;DIETL, DR.;OTT, WERNER;SCHMIDBAUER, WILHELM;SEIFERT, DR.;WEIZBAUER, DR.;PICHLER, HERBERT
分类号 C01B33/037;H01L21/306;H01L31/18;(IPC1-7):H01L31/18 主分类号 C01B33/037
代理机构 代理人
主权项
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