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发明名称
VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER BC(N):H SCHICHT
摘要
申请公布号
DE59803671(D1)
申请公布日期
2002.05.08
申请号
DE19985003671
申请日期
1998.12.03
申请人
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人
ECKARDT, TANJA;BEWILOGUA, KLAUS
分类号
C23C2/00;(IPC1-7):C23C2/00
主分类号
C23C2/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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