发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER BC(N):H SCHICHT
摘要
申请公布号 DE59803671(D1) 申请公布日期 2002.05.08
申请号 DE19985003671 申请日期 1998.12.03
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 ECKARDT, TANJA;BEWILOGUA, KLAUS
分类号 C23C2/00;(IPC1-7):C23C2/00 主分类号 C23C2/00
代理机构 代理人
主权项
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