| 发明名称 |
Electro-static chucking (ESC) mechanism |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2368723(A) |
申请公布日期 |
2002.05.08 |
| 申请号 |
GB20010014537 |
申请日期 |
2001.06.14 |
| 申请人 |
* ANELVA CORPORATION |
发明人 |
YASUMI * SAGO;MASAYOSHI * IKEDA;KAZUAKI * KANEKO;HIROKI * DATE |
| 分类号 |
B23Q3/15;C23C14/50;C23C16/458;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/683;H02N13/00;(IPC1-7):H01L21/68;H01J37/32 |
主分类号 |
B23Q3/15 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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