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发明名称 Verfahren zum Belichten der Randbereiche eines Halbleiterwafers zum Entfernen von nicht benötigten Resist, und Gerät zur Ausführung des Verfahrens
摘要
申请公布号 DE69614215(T2) 申请公布日期 2002.05.08
申请号 DE19966014215T 申请日期 1996.10.02
申请人 USHIODENKI K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 MIMURA, YOSHIKI;MINOBE, TAKESHI;MIURA, SHINETSU
分类号 G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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