高速、高灵敏度的谐振腔增强型光电探测器的实现方法

摘要

本发明涉及一种高速、高灵敏度的谐振腔增强型(RCE)光电探测器的制备方法。本发明其特征在于:它通过离子注入造成器件部分电极绝缘,使得导电区域呈现梳状或网孔状的微结构,降低了探测器的固有电容。本发明涉及的方法解除了RCE光电探测器的光耦合效率与响应速率之间互相制约的矛盾,势将对今后光波与光电子器件的发展产生重要而深远的影响。

主权项

1、一种高速、高灵敏度的谐振腔增强型光电探测器的实现方法，在半导体衬底上，外延生长顶镜、电极层、本征隔离层、本征吸收层，其特征在于：电极层采用离子注入使得器件部分电极绝缘，降低探测器的固有电容。