发明名称 一种有机薄膜场效应晶体管及其制备方法
摘要 本发明提供了一种有机薄膜场效应晶体管及其制备方法。该器件包括靠近基片梳形平行的第一电极和第二电极,远离基片的第三电极,以及夹在所述第一、第二电极和第三电极之间的有机半导体层和绝缘层。该制备方法中的绝缘层采用具有良好绝缘性能的有机材料,通过全蒸镀法正向制备有机薄膜场效应晶体管,从而有效增大了晶体管的饱和电流,缩小了晶体管面积。
申请公布号 CN1348222A 申请公布日期 2002.05.08
申请号 CN01134676.0 申请日期 2001.11.09
申请人 清华大学 发明人 董桂芳;胡远川;王立铎;邱勇;高裕弟
分类号 H01L51/20;H01L51/40;H01L51/30 主分类号 H01L51/20
代理机构 代理人
主权项 1.一种有机薄膜场效应晶体管,其包括第一电极和第二电极,以及第三电极,以及夹在所述第一、第二电极和第三电极之间的有机半导体层和绝缘层,其特征在于第一电极和第二电极靠近基片,第三电极远离基片。
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