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发明名称
Vacuum coating apparatus for all-round coating of substrates by rotation in the particle flux
摘要
申请公布号
EP0892081(A3)
申请公布日期
2002.05.08
申请号
EP19980111271
申请日期
1998.06.18
申请人
LEYBOLD SYSTEMS GMBH
发明人
RICK, ALFRED;BAEHR, MARTIN, DR.;EBERHARDT, HELMUNT;ANDERLE, FRIEDRICH
分类号
C23C14/50;(IPC1-7):C23C14/50;C23C14/24
主分类号
C23C14/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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