发明名称 Vacuum coating apparatus for all-round coating of substrates by rotation in the particle flux
摘要
申请公布号 EP0892081(A3) 申请公布日期 2002.05.08
申请号 EP19980111271 申请日期 1998.06.18
申请人 LEYBOLD SYSTEMS GMBH 发明人 RICK, ALFRED;BAEHR, MARTIN, DR.;EBERHARDT, HELMUNT;ANDERLE, FRIEDRICH
分类号 C23C14/50;(IPC1-7):C23C14/50;C23C14/24 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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