发明名称 Semiconductor device with MIS capacitor
摘要
申请公布号 EP0385450(B1) 申请公布日期 2002.05.08
申请号 EP19900103926 申请日期 1990.02.28
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 KOYAMA, TAKESHI
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L27/02;H01L27/06;H01L29/866;H01L29/94;(IPC1-7):H01L27/06 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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