Verfahren und Einrichtung zur Reduzierung Zündspannung von Leistungspulsen gepulst betriebener Plasmen

摘要

Beim Einsatz leistungsstarker gepulster Plasmen ist es oftmals erforderlich, aus technologischen Gründen die Länge der Puls-Aus-Zeit zu variieren. Eine Verlängerung der Puls-Aus-Zeit kann dabei zu einem Anstieg der Zündspannung des nachfolgenden Pulses führen, was die Anforderungen an die eingesetzten Stromversorgungen erhöht. Das neue Verfahren soll eine deutliche Verlängerung der Puls-Aus-Zeit ermöglichen, ohne dass es zu einem Anstieg der Zündspannung kommt. DOLLAR A Durch Unterhaltung einer schwachen zusätzlichen Plasmaentladung, die während der Puls-Aus-Zeit mindestens so viele Ladungsträger erzeugt, dass die Zündspannung des nachfolgenden Pulses stets nur wenig über dessen Brennspannung liegt, wird ein Anwachsen der Zündspannung mit einer Verlängerung der Puls-Aus-Zeit vermieden. DOLLAR A Plasmagestützte Beschichtungsverfahren.