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发明名称 Einkristallines Siliziumwafer und Verfahren zu seiner Herstellung
摘要
申请公布号 DE69900210(T2) 申请公布日期 2002.05.08
申请号 DE19996000210T 申请日期 1999.05.21
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 TAMATSUKA, MASARO;KIMURA, AKIHIRO;MIKI, KATSUHIKO;IIDA, MAKOTO
分类号 C30B15/04;C30B15/00;C30B33/00;G05D23/19;H01L21/66;(IPC1-7):C30B15/00;C30B29/06 主分类号 C30B15/04
代理机构 代理人
主权项
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