| 发明名称 |
Gerät zum chemisch-mechanischen Polieren von Wafern |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE59706834(D1) |
申请公布日期 |
2002.05.08 |
| 申请号 |
DE19975006834 |
申请日期 |
1997.07.28 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
MELZNER, HANNO;WENDT, DR. |
| 分类号 |
B24B7/22;B24B19/02;B24B37/04;B24D9/04;(IPC1-7):B24B37/04 |
主分类号 |
B24B7/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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