发明名称 HOLOGRAPHIC PROJECTION DEVICE AND METHOD, AND EXPOSURE DEVICE AND METHOD
摘要
申请公布号 EP1203262(A1) 申请公布日期 2002.05.08
申请号 EP20000956390 申请日期 2000.08.03
申请人 XETOS AG 发明人 KNOCKE, FRANK
分类号 G03H1/22;G03H1/26;(IPC1-7):G03B21/60;G02B5/32;G03H1/30 主分类号 G03H1/22
代理机构 代理人
主权项
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