- Use of an Alkoxy N-Hydroxyalkyl Alkanamide as Resist Removing Agent Composition for Removing Resist Method for Preparing the Same and Resist Removing Method Using the Same

摘要

레지스트 뿐만 아니라 폴리머 제거력이 뛰어나고 하부막을 손상시키지 않는 레지스트 제거제와 레지스트 제거용 조성물, 이들의 제조 방법 및 이를 이용한 레지스트 제거 방법에 관해 개시한다. 본 발명에 따른 레지스트 제거제는 알콕시 N-하이드록시알킬 알칸아미드로 구성된다. 레지스트 제거용 조성물은 알콕시 N-하이드록시알킬 알칸아미드와 쌍극자 모멘트가 3 이상인 극성 물질, 손상 방지제 및 알칸올 아민으로 이루어진 그룹에서 선택된 하나 이상의 화합물을 포함한다.