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发明名称 Inrichting voor het produceren van een grote variÙteit aan halfgeleiderinrichtingen.
摘要
申请公布号 NL194468(C) 申请公布日期 2002.05.03
申请号 NL19870000850 申请日期 1987.04.10
申请人 MICHIO OSADA 发明人
分类号 B29C45/02;B29C45/26;B29C45/40;(IPC1-7):B29C45/02;B29C45/14;H01L21/56 主分类号 B29C45/02
代理机构 代理人
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