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发明名称 VAPORIZER AND LIQUID DELIVERY SYSTEM USING SAME
摘要
申请公布号 HK1005797(A1) 申请公布日期 2002.05.03
申请号 HK19980105049 申请日期 1998.06.09
申请人 MKS INSTRUMENTS, INC. 发明人 EWING, JAMES H
分类号 B01D1/00;B01D1/22;B01D3/34;B01J4/00;B01J7/02;F24J3/00;(IPC1-7):B01B;B01D;F22B;F24B;F24F 主分类号 B01D1/00
代理机构 代理人
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