发明名称 ACTUATOR COMPONENT FOR A MICROSPRAY AND ITS PRODUCTION PROCESS
摘要
申请公布号 EP1200198(A1) 申请公布日期 2002.05.02
申请号 EP20000949481 申请日期 2000.08.10
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 SCHNUPP, RALF;THOMAS, JOCHEN
分类号 B81B3/00;B05B17/06;B06B1/06;H01L41/09;H01L41/187;H01L41/22;(IPC1-7):B05B17/06 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
地址