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发明名称 Inspection apparatus and method
摘要
申请公布号 EP1106994(A3) 申请公布日期 2002.05.02
申请号 EP20000125362 申请日期 2000.11.30
申请人 SONY CORPORATION 发明人 IMAI, YUTAKA;TAGUCHI, AYUMU;TAMADA, HITOSHI;WADA, HIROYUKI
分类号 G01B11/24;G01N21/956;G03F7/26;H01L21/027;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/956;G01N21/88;G03F7/20 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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