| 发明名称 |
Method and apparatus for deposition of biaxially textured coatings |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU746645(B2) |
申请公布日期 |
2002.05.02 |
| 申请号 |
AU19990034188 |
申请日期 |
1999.03.30 |
| 申请人 |
UNIVERSITEIT GENT |
发明人 |
ROGER DE GRYSE;JURGEN DENUL |
| 分类号 |
H05H1/46;C23C14/08;C23C14/22;C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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