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发明名称
METHOD OF WRITING GRATING STRUCTURES
摘要
申请公布号
EP1200857(A1)
申请公布日期
2002.05.02
申请号
EP20000941809
申请日期
2000.07.11
申请人
THE UNIVERSITY OF SYDNEY
发明人
CANNING, JOHN
分类号
G01N21/27;G01N21/77;G02B6/00;G02B6/02;G02B6/12;G02B6/122;G02B6/28;G02B6/293;G02B6/30;G02B6/34;(IPC1-7):G02B5/28;G02B6/13
主分类号
G01N21/27
代理机构
代理人
主权项
地址
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