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发明名称 ADAPTIVE GAS CLUSTER ION BEAM FOR SMOOTHING SURFACES
摘要
申请公布号 EP1200980(A1) 申请公布日期 2002.05.02
申请号 EP20000947375 申请日期 2000.07.14
申请人 EPION CORPORATION 发明人 FENNER, DAVID, B.
分类号 G21K5/04;C23F4/00;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3105;H01L21/321;(IPC1-7):H01J37/317;C23C14/02;C23C14/22 主分类号 G21K5/04
代理机构 代理人
主权项
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