| 发明名称 |
METHOD OF CHECKING FOR THE PRESENCE OF CONNECTION BALLS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0968522(B1) |
申请公布日期 |
2002.05.02 |
| 申请号 |
EP19980914824 |
申请日期 |
1998.02.25 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
GRASMUELLER, HANS-HORST |
| 分类号 |
G01B11/00;G01N21/956;H01L21/00;H01L21/60;H01L21/66;H01L23/12;(IPC1-7):H01L21/00;G01N21/88 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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