| 主权项 |
1.一种可调整作业平台高度之晶圆盒输送系统,包括:一暂存室,其内部具有一暂存空间可暂存复数个晶圆盒,并利用一配送装置将晶圆盒由输出口处输出;一作业平台,系设于暂存室之外部并用以承载暂存室所输出之晶圆盒;以及一载送工具,系可以将作业平台的晶圆输送至制程机台以进行制程作业;其特征在于:该作业平台更包括一高度调整装置用以作业平台的高度,使作业平台的高度可以分别的调整到与暂存室的输出口相对应的位置,或是与载送装置相对应之位置,使晶圆盒可以顺利地进行输送而不会产生冲突。2.如申请专利范围第1项所述之可调整作业平台高度之晶圆盒输送系统,其中该系统更包括一高架输送轨道可以将复数个晶圆盒输送至暂存室。3.如申请专利范围第1项所述之可调整作业平台高度之晶圆盒输送系统,其中该系统所使用的晶圆盒系为FOUP,其规格系适用于承载12寸晶圆。4.如申请专利范围第1项所述之可调整作业平台高度之晶圆盒输送系统,其中该载送工具系利用一机器手臂将作业平台上的晶圆输送至制程机台以进行制程作业。5.如申请专利范围第1项所述之可调整作业平台高度之晶圆盒输送系统,其中该暂存室之底部设有防漏盘和测漏装置,以避免制程之化学液体造成暂存室的损坏,并防止外漏的情形持续扩大。6.如申请专利范围第1项所述之可调整作业平台高度之晶圆盒输送系统,其中该载送工具系为轨道式载送工具(RGV)。7.如申请专利范围第1项所述之可调整作业平台高度之晶圆盒输送系统,其中该载送工具系为自动导引载送工具(AGV)。8.如申请专利范围第1项所述之可调整作业平台高度之晶圆盒输送系统,其中该高度调整装置系利用一对螺杆分别以对称方式套合于作业平台之螺孔中,当螺杆转动时螺孔将顺着螺杆之螺纹转动而产生上、下方向的移动。9.如申请专利范围第8项所述之可调整作业平台高度之晶圆盒输送系统,其中该高度调整装置更包括步进马达用以驱动螺杆转动。10.如申请专利范围第8项所述之可调整作业平台高度之晶圆盒输送系统,其中该系统更包括一高度侦测器装设于作业平台之上,该高度侦测器可以侦测作业平台的高度,并传送至高度调整装置使作业平台可以调整到所要求之位置。11.如申请专利范围第10项所述之可调整作业平台高度之晶圆盒输送系统,其中该高度侦测器系利用雷射光束或红外线感测方式侦测作业平台的高度。图式简单说明:图一系为习知技术之晶圆盒输送系统示意图;图二系为本创作之可调整作业平台高度之晶圆盒输送系统示意图;图三A、三B系为本创作之高度调整装置之示意图。 |
