| 主权项 |
1.一种非等向性薄膜评价方法,包括下列步骤:使用一透镜、一偏振器、及一位相转化器产生一具既定直径及偏振状态之光束,并以该光束为入射光,投射至一与该非等向性薄膜相符之薄膜样本;使该自薄膜样本反射之反射光经过一分析仪及一二元光子强度侦测仪,产生一光强度分布;及以该光强度分布为基础,评价该薄膜样本之光学非等向性平面分布。2.如申请专利范围第1项所述之非等向性薄膜评价方法,更包括以一样本平台旋转该薄膜样本的步骤。3.如申请专利范围第1项所述之非等向性薄膜评价方法,更包括以一样本平台平行移动该薄膜样本的步骤。4.如申请专利范围第1项所述之非等向性薄膜评价方法,其中该反射光更经过一位相转化器,再经过该二元光子强度侦测仪及该分析仪。5.如申请专利范围第1项所述之非等向性薄膜评价方法,其中该光束系一雷射光束。6.如申请专利范围第1项所述之非等向性薄膜评价方法,其中该光束系一白光。7.如申请专利范围第6项所述之非等向性薄膜评价方法,更包括自该白光中取一指定波长之光束作为入射光的步骤。8.如申请专利范围第6项所述之非等向性薄膜评价方法,更包括自该反射光中取一指定波长之光束以提供给该二元光子强度侦测仪的步骤。9.如申请专利范围第6项所述之非等向性薄膜评价方法,其中该二元光子强度侦测仪侦测复数个光束之强度以产光一彩色影像讯号,该复数个光束各自具有不同之波长,上述方法包括下列步骤:自该白光中取得该等光束,该等光束各自具有不同波长;使该二元光子强度侦测仪以该等光束为基础,产生一彩色影像讯号;及以该彩色影像讯号为基础,显示一彩色影像。10.如申请专利范围第6项所述之非等向性薄膜评价方法,更包括下列步骤:自该白光中取得该等光束,该等光束各自具有不同波长;及调整该偏振器、该位相转化器、及该分析仪之方向,使该等光束之指定波长强度总合为最小。11.一种非等向性薄膜评价装置,包括:一光学系统,其包括复数个透镜、一偏振器、及一位相转化器,该光学系统产生一光束并以该光束为入射光,投射至一与该非等向性薄膜相符之薄膜样本,该光束具有一事先决定之直径及偏振状态;一分析仪,其置于该薄膜样本之一光学下游;一二元光子强度侦测仪,置于该分析仪之一光学下游以侦测自该薄膜样本取得且通过该分析仪之反射光,以产生一光强度分布;及一评价单元,其连接至该二元光子强度侦测仪,以该光强度分布为基础,评价该薄膜样本之光学非等向性平面分布。12.如申请专利范围第11项所述之非等向性薄膜评价装置,更包括一样本台,用以在同一平面上旋转该薄膜样本。13.如申请专利范围第11项所述之非等向性薄膜评价装置,更包括一样本台,用以在该同一平面上平行移动该薄膜样本。14.如申请专利范围第11项所述之非等向性薄膜评价装置,更包括一位相转化器,置于该光之侦测仪及该二元光子强度侦测仪之间。15.如申请专利范围第11项所述之非等向性薄膜评价装置,其中该光束系一雷射光束。16.如申请专利范围第11项所述之非等向性薄膜评价装置,其中该光束系一白光。17.如申请专利范围第16项所述之非等向性薄膜评价装置,其中该光学系统包括一波长选择部分,其自该白光中取得一指定波长之光束作为该入射光。18.如申请专利范围第16项所述之非等向性薄膜评价装置,更包括一波长选择部分,其自该反射光中取得一指定波长之光束以供给该二元光子强度侦测仪。19.如申请专利范围第16项所述之非等向性薄膜评价装置,其中该二元光子强度侦测仪侦测复数个光束之强度以产生一彩色影像讯号,该平价装置包括:一波长选择部分,其自该白光中取得该等光束,该等光束各具有不同之波长;一影像讯号产生部分,使该二元光子强度侦测仪产生一彩色影像讯号;及一显示部分,其连接至该影像讯号产生部分,以该彩色影像讯号为基础,产显示一彩色影像。20.如申请专利范围第16项所述之非等向性薄膜评价装置,包括:一波长选择部分,用以自该白光中取得复数个光束,该等光束各具不同之波长;及一调整部分,用以调整该偏振器、该位相转化器、及该分析仪之方向,使该等光束之指定波长强度总合为最小。图式简单说明:第1图系如本发明第1实施例之评价机构示意图;第2图系如本发明第2实施例之评价机构示意图;第3图系如本发明第3实施例之评价机构示意图;第4图系如本发明第4实施例之评价机构示意图;第5图系第1图至5所示之评价机构中的样本平台立体图;第6图系透过第1图所示之评价机构显示测得之0度角样本强度分布;第7图系透过第1图所示之评价机构显示测得之45度角样本强度分布;第8图系透过第1图所示之评价机构显示测得之90度角样本强度分布;第9图系透过第1图所示之评价机构显示测得之135度角样本强度分布;第10图系透过第1图所示之评价机构显示测得之180度角样本强度分布;第11图系如本发明第5实施例之评价机构示意图;第12图系如本发明第6实施例之评价机构示意图;第13图系如本发明第7实施例之评价机构示意图;第14图系如本发明第8实施例之评价机构示意图;第15图系透过第13图所示之评价机构显示测得之样本强度分布;第16图系如本发明第9实施例之评价机构示意图;以及第17图系透过第16图所示之评价机构显示测得之强度分布。 |
