| 摘要 |
<p>목적 : 본 발명은 투명 플라스틱수지로 된 렌즈를 구비하는 노광 장치에 있어서 상기 노광렌즈의 사용 수명을 대폭 연장할 수 있는 구성으로 된 칼라 음극선관용 노광 장치를 제공한다. 구성 : 본 발명은 수은등으로 되고 X축과 Y축 방향으로 세이킹되는 노광원과, 상기 노광원에서 조사되는 자외선을 노광면으로 고르게 분산시켜 보정하는 노광렌즈 및 상기 자외선이 노광면으로 고르게 분산되도록 중앙과 주변의 투과율을 조절하는 적어도 하나 이상의 필터를 갖춘 칼라 음극선관용 노광장치에 있어서, 상기 노광렌즈의 상기 자외선 입사측에 350㎛ 미만의 자외선을 고르게 필터링하는 자외선 필터가 더 배치된 구성으로 된다. 효과 : 본 발명은 자외선 필터에 의해 150∼350㎛ 파장대가 여과된 자외선이 노광렌즈에 폭사됨에 따라 상기 노광렌즈의 물성 변화가 지연되어 사용 수명이 연장된다.</p> |
