发明名称 METHOD AND SYSTEM FOR CONTROLLING ROBOT ARMS OF AUTOMATIC GUIDED VEHICLES ON SEMICONDUCTOR WAFER PRODUCTION LINE
摘要 <p>각각이 제품을 로딩 및 언로딩하는 하나이상의 로봇암을 구비하는 복수개의 자동가이드비클을 교시하는 방법은 단일예비기준스테이션의 사용에 의한 기준위치 데이터와 하나이상의 실제스테이션의 사용에 의한 하나이상의 실제스테이션에 속하는 실제위치데이터를 원래하나의 자동가이드비클에 교시하는 단계와; 그리고 상기 원래하나에 교시된 실제위치데이터와 동일한 공통데이터를 상기 원래하나를 제외한 자동가이드비클들에 공급하고, 상기 공통데이터를 상기 자동가이드비클들의 개별적인 기계적오차를 보상하기 위한 개별적인 위치보정데이터로 각각 보정하기 위하여 상기 단일예비기준스테이션의 사용에 의한 상기 개별적인 위치보정데이터를 상기 원래하나를 제외한 자동가이드비클들에 교시하는 단계를 구비한다. 상기 위치보정 데이터는, 로봇암의 핸드와 상기 하나이상의 기준스테이션앞의 소정의 정지위치에서 상기 자동가이드비클이 멈추는 것을 참조한 상기 자동가이드비클상의 기준점사이의 상대위치에서 상기 원래하나와 하나이상의 남겨진하나의 각각의 차이에 관계한다.</p>
申请公布号 KR100333520(B1) 申请公布日期 2002.04.25
申请号 KR19990002792 申请日期 1999.01.28
申请人 null, null 发明人 사이토다이스케
分类号 B23P19/00;B25J5/00;B25J5/02;B25J9/22;B25J13/00;B65G1/00;B65G43/00;G05B19/19;G05B19/418;G05B19/42;G05D1/02;H01L21/02;H01L21/677 主分类号 B23P19/00
代理机构 代理人
主权项
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