发明名称 METHOD OF CHECKING FOR THE PRESENCE OF CONNECTION BALLS
摘要 <p>본 발명은 구성 요소들의 연결 볼들, 특히 볼 그리드 어레이들의 존재를 점검하는 방법에 관한 것이다. 공지된 방법으로, 조명[5]에 따라 생성된 연결 볼들[2]에서의 광선의 반사[6]는 이미지-평가 장치[15]에 의해 평가된다. 금속 불순 성분[3]은 잘못 인식될 수 있는 광선 반사들[11]을 야기할 수 있다. 본 발명은 상기 오류를 피하도록 고려된 것이다. 본 이미지-평가 장치는 광원[5]에 의해 측면에서 조명될 때, 금속 불순 성분[3]에 의한 그림자[12] 형성과 다른 그림자를 형성하는 연결 볼들[2]에 의한 측면을 탐지한다. 상기 반사와 그림자를 함께 탐지함으로써, 상기 이미지-평가 장치는 연결 볼의 그림자와 동일한 크기의 금속 불순 성분[3] 및 암영 불순 성분들[4]을 탐지한다. 자동 구성 요소-탐재 장치내의 구성 요소상의 연결 볼들의 존재를 점검한다.</p>
申请公布号 KR100333222(B1) 申请公布日期 2002.04.25
申请号 KR19997007942 申请日期 1999.08.31
申请人 null, null 发明人 그라스뮬러,한스-호르스트
分类号 G01B11/00;G01N21/956;H01L21/00;H01L21/60;H01L21/66;H01L23/12 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
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