发明名称 Stiction release mechanism
摘要
申请公布号 WO0159504(A3) 申请公布日期 2002.04.25
申请号 WO2001US04687 申请日期 2001.02.12
申请人 ZYGO CORPORATION;BERG, JOHN, S.;BYUN, CHONG, WON;FRIENDS, SCOTT;RITTER, JOHN;CHUNG, MICHAEL;KINDLER, DAVID 发明人 BERG, JOHN, S;BYUN, CHONG, WON;FRIENDS, SCOTT;RITTER, JOHN;CHUNG, MICHAEL;KINDLER, DAVID
分类号 G02B26/08;(IPC1-7):B81B3/00 主分类号 G02B26/08
代理机构 代理人
主权项
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