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发明名称 Apparatus for the chemical treatment of wafers
摘要
申请公布号 AT408930(B) 申请公布日期 2002.04.25
申请号 AT19990000040 申请日期 1999.01.13
申请人 THALLNER ERICH DIPL.ING. 发明人
分类号 B05B13/04;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/68;B08B3/02;B08B11/00;C23C22/05;C23F17/00 主分类号 B05B13/04
代理机构 代理人
主权项
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