发明名称 HERSTELLUNGSVERFAHREN VON GESCHICHTETEN UEBERGITTERMATERIALIEN UND VON DIESEN ENTHALTENDEN ELEKTRONISCHEN VORRICHTUNGEN
摘要
申请公布号 DE69331743(D1) 申请公布日期 2002.04.25
申请号 DE1993631743 申请日期 1993.10.21
申请人 SYMETRIX CORP., COLORADO SPRINGS;OLYMPUS OPTICAL CO., LTD. 发明人 YOSHIMORI, HIROYUKI;WATANABE, HITOSHI;PAZ DE ARAUJO, A.;MCMILLAN, D.;CUCHIARO, D.;SCOTT, C.
分类号 C01B13/32;C23C18/12;C30B7/00;C30B29/30;C30B29/32;H01L21/02;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/108;H01L27/115;H01L29/40 主分类号 C01B13/32
代理机构 代理人
主权项
地址