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发明名称 REINIGUNGSVERFAHREN FÜR HALBLEITERSCHEIBEN
摘要
申请公布号 DE69711210(D1) 申请公布日期 2002.04.25
申请号 DE1997611210 申请日期 1997.07.08
申请人 VERTEQ INC., SANTA ANA 发明人 BRAN, E.
分类号 B06B3/00;B08B3/12;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B06B3/00
代理机构 代理人
主权项
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