| 发明名称 |
Herstellungsverfahren von dünnem Film |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69330921(T2) |
申请公布日期 |
2002.04.25 |
| 申请号 |
DE19936030921T |
申请日期 |
1993.04.27 |
| 申请人 |
TSUBOUCHI, KAZUO |
发明人 |
TSUBOUCHI, KAZUO;MASU, KAZUYA |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/02;C23C16/04;C23C16/18;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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