发明名称 POROUS LAYERS AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF BY MEANS OF SPIN-COATING
摘要 <p>Die vorliegende Erfindung betrifft poröse Schichten, ein Verfahren zu deren Herstellung sowie die Verwendung dieser Schichten in der Mikroelektronik, in Sensoren, bei katalytischen Reaktionen, bei Trennverfahren sowie in optischen Schichten. Die erfindungsgemäßen Schichten werden durch Auftragen einer Suspension poröser Partikel auf ein Substrat mittels Spin-Coating hergestellt.</p>
申请公布号 WO2002032589(A2) 申请公布日期 2002.04.25
申请号 EP2001012153 申请日期 2001.10.19
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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