发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Einkristalls
摘要
申请公布号 DE59803424(D1) 申请公布日期 2002.04.25
申请号 DE19985003424 申请日期 1998.12.08
申请人 WACKER SILTRONIC GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERMATERIALIEN AG 发明人 VON AMMON, DR.;TOMZIG, DR.;VIRBULIS, DR.
分类号 C30B15/14;(IPC1-7):C30B15/14 主分类号 C30B15/14
代理机构 代理人
主权项
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