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<p>본 발명은 강유전체 막 구조를 치밀화시킬 수 있으며 강유전 특성을 보다 향상시킬 수 있는 강유전체 캐패시터 제조 방법에 관한 것으로, 페롭스카이트 핵 형성 공정인 급속열처리를 종래의 상압 방식에서 상압보다 낮은 저압방식으로 전환하는데 특징이 있다. SBT, SBTN 핵의 플루라이트에서 페롭스카이트로의 전이는 저압 상태, 700 ℃ RTA 열공정으로 충분히 이루어진다. 또한, SBT, SBTN막은 급속열처리 과정 중 산화반응에 의해 체적 증가가 제한되므로 극히 평탄하고 치밀한 표면 상태를 갖게된다.</p> |
