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发明名称 FOIL LEAK DETECTION CHAMBER
摘要
申请公布号 EP1198700(A1) 申请公布日期 2002.04.24
申请号 EP20000949271 申请日期 2000.07.06
申请人 INFICON GMBH 发明人 WIDT, RUDI;ABELEN, THOMAS
分类号 G01M3/26;G01M3/22;G01M3/32;(IPC1-7):G01M3/32 主分类号 G01M3/26
代理机构 代理人
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