高气体吸附速度的吸气泵

摘要

公开了一种吸气泵(10)，其特征在于，在一般为圆筒形腔体(12)的内部有3至8个吸气体结构物(13、13’、…)，它们相互平行，并与腔体轴线平行；每一结构物均由若干被安装架(15、15’、…)支承的吸气剂圆盘(14、14’、…)构成。吸气剂部件环绕泵的轴线对称地布置，限定一个空穴(17)，在其中放置着一台加热部件(16)，此空穴(17)是吸气剂材料活化和工作所必须的。相对具有相同尺寸的吸气泵，此泵具有更高的吸附速度。$#!

主权项

1.一种具有高吸附速度的吸气泵，此种吸气泵包括：一个金属壳体(11)，它限定一个圆筒形腔体(12)；数目在3至8范围内变化的若干吸气剂结构物(13、13’、…)，每一结构物(13、13’、…)均由粉末吸气剂材料烧结制成的若干多孔圆盘(14、14’、14”、…)构成，并由中央安装架(15、15’、…)加以支承，所述吸气剂结构物环绕腔体中心对称地布置，并与腔体轴线平行；一台加热器(16)，它位于腔体的中心，并与其同轴；和一个开口(19)，它位于所述壳体的壁上，用以将所述吸气剂结构物与欲抽真空的空间相连接。